如何正確操作表面與體積電阻率測試儀

根據歐姆定律，被測電阻Rx等于施加電壓V除以通過的電流I。傳統的高阻計的工作原理是測量電壓V固定，通過測量流過取樣電阻的電流I來得到電阻值。從歐姆定律可以看出，由于電流I是與電阻成反比，而不是成正比，所以電阻的顯示值是非線性的，即電阻無窮大時，電流為零，即表頭的零位處是∞，其附近的刻度非常密，分辨率很低。整個刻度是非線性的。又由于測量不同的電阻時，其電壓V也會有些變化，所以普通的高阻計是精度差、分辨率低。

操作流程：

‌開機預熱‌：

打開設備電源開關，預熱不少于10分鐘，確保儀器穩定工作‌。

‌樣品放置與電極配置‌：

打開屏蔽箱門，將樣品平鋪在不保護電極正中央，用保護電極壓住樣品，再插入被保護電極（需確保電極同軸且無短路）‌。

對于三電極法，樣品需覆蓋不保護電極，并調整保護電極間隙均勻‌。

‌參數設置‌：

通過FN鍵切換體積電阻率（RV）或表面電阻率（RS）模式‌。

設置測試電壓（如100V、250V、500V、1000V）、電化時間（默認60秒）及樣品厚度‌。

‌開始測試‌：

關閉屏蔽箱門，按“Start”鍵啟動測試，過程約1分鐘‌。

儀器實時顯示電阻值及電阻率（體積電阻率公式：ρV=RV×S/d，S為電極面積，d為樣品厚度）‌。

‌數據記錄與復位‌：

測試結束后記錄數據，高壓指示燈熄滅后打開箱門更換樣品‌。

用綢布清潔設備，樣品需放電處理‌。