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導電材料電阻率的測試方法:
1.使用四探針法:四探針法用在非常薄的樣品,例如晶圓片和導電涂層上。下圖是四點銅線探針用于電阻率測量的配置圖。電流從兩個外部的探針加入,而電壓降則在兩個內部的探針之間測量。表面電阻率的計算公式為:σ=(π/In2)(V/I) 其中: σ=表面電阻率,V=電壓表測得的電壓,I=電流源電流。
2.整塊材料的電阻率:將電流源連到樣品的兩端,電壓表的引線則按已知的距離放置,根據樣品的橫截面積和電壓表引線之間的距離計算出電阻率:ρ= (V/I)(A/L) 其中:ρ=以厘米-歐姆為單位的電阻率;V=電壓表測量的電壓;I=電流源電流;A=以厘米2為單位的樣品的橫截面積(w × t) ;L=以厘米為單位的電壓表引線之間的距離。